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產(chǎn)品簡介

微波等離子去膠機NE-MW10可用于批量晶圓去膠和清除殘膠，專為實驗室和研發(fā)使用而設(shè)計，設(shè)備使用2.45GHz微波等離子源，在真空腔內(nèi)將氧氣起輝激發(fā)至高能量的等離子體態(tài)后轟擊樣品表面的光刻膠、聚酰亞胺等有機物，高能的氧等離子體可破壞碳碳鍵，從而將吸附的有機雜質(zhì)反應(yīng)成氣態(tài)脫離表面，也可在樣品表面形成羥基，以實現(xiàn)清潔和活化的目的。

微波放電是一種在低氣壓下形成高密度等離子體的技術(shù)，它具有無極放電、高密度、高電離度、高活性等特點，不產(chǎn)生自偏壓，不會對CMOS，MEMS等敏感器件造成損傷。

產(chǎn)品參數(shù)

型號	NE-MW10
腔體尺寸	Ф170*250(D)
腔體容量	6L
處理層數(shù)	1層
等離子發(fā)生器頻率	2.45GHZ
等離子發(fā)生器功率	600W
控制系統(tǒng)	PLC+HMI
真空泵	干泵/油泵（可選）
輸入電壓	220V
外形尺寸	465415480